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发明名称 METHOD OF FILLING THROUGH HOLE AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
摘要
申请公布号 JPS6473743(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870229526 申请日期 1987.09.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAEHARA MASAAKI;NISHITANI EISUKE;TSUJIKU SUSUMU;NAKATANI MITSUO;MIZUKAMI KOICHIRO;HORIUCHI MITSUAKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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