发明名称 MANUFACTURE OF EPITAXIAL SI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6489423(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870244073 申请日期 1987.09.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HAIDA OSAMU
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址