发明名称 MIKROSKOPVORRICHTUNG ZUM PRUEFEN VON WAFERN.
摘要
申请公布号 AT42004(T) 申请公布日期 1989.04.15
申请号 AT19860101375T 申请日期 1986.02.03
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 YOSHINAGA, MAKOTO;IBA, YOICHI;MIYAHARA, NORIYUKI;KAWASAKI, MASAMI;MORITA, TERUMASA;NAGANO, TAKASHI
分类号 G02B21/00;G03B41/00;H05K13/02;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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