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发明名称 TESTING OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01119035(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870277018 申请日期 1987.10.31
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HONMA AKIHIRO
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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