发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01126637(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284857 申请日期 1987.11.11
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 ARIGA TORU
分类号 G03B27/72;G03B27/50 主分类号 G03B27/72
代理机构 代理人
主权项
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