| 发明名称 |
PROCEDE D'ATTAQUE D'UNE SURFACE D'UNE PIECE EN PHOSPHURE D'INDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2613381(B1) |
申请公布日期 |
1989.06.23 |
| 申请号 |
FR19870004575 |
申请日期 |
1987.04.01 |
| 申请人 |
ALCATEL CIT |
发明人 |
CLAUDE CARRIERE, JEAN RENARD ET THIERRY LAVOLEE;RENARD JEAN;LAVOLEE THIERRY |
| 分类号 |
C23F4/00;C04B41/53;C04B41/91;H01L21/306;(IPC1-7):C23F4/00;C01G15/00;H01L21/30;H04B9/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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