INTRODUCTION OF STRAIN INTO REAR OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19880007177-传众专利搜索

发明名称	INTRODUCTION OF STRAIN INTO REAR OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH01186633(A)	申请公布日期	1989.07.26
申请号	JP19880007177	申请日期	1988.01.14
申请人	NEC CORP	发明人	SAKAI AKIRA
分类号	H01L21/268;H01L21/322	主分类号	H01L21/268
代理机构		代理人
主权项
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