发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01286468(A) 申请公布日期 1989.11.17
申请号 JP19880116030 申请日期 1988.05.13
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OMURA YASUHISA;INOKAWA HIROSHI;IZUMI KATSUTOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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