PRODUCTION OF THIN FILM OF PHOSPHORUS-CONTAINING CRYSTAL,申请号JP19880115978-传众专利搜索

发明名称	PRODUCTION OF THIN FILM OF PHOSPHORUS-CONTAINING CRYSTAL
摘要
申请公布号	JPH01287276(A)	申请公布日期	1989.11.17
申请号	JP19880115978	申请日期	1988.05.14
申请人	UBE IND LTD	发明人	TSUNODA TAKUMI;FUJIZU SATORU
分类号	C07F9/50;C23C16/28	主分类号	C07F9/50
代理机构		代理人
主权项
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