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发明名称 METHOD OF MEASURING BACK FLOW OF WORKING FLUID VAPOR IN VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 SU1523743(A1) 申请公布日期 1989.11.23
申请号 SU19874310611 申请日期 1987.09.28
申请人 PUTILOVSKIJ FELIKS D,SU;TAZYUKOV FARUK KH,SU;SILUYANOV VIKTOR A,SU;STEPANOV YURIJ P,SU 发明人 PUTILOVSKIJ FELIKS D,SU;TAZYUKOV FARUK KH,SU;SILUYANOV VIKTOR A,SU;STEPANOV YURIJ P,SU
分类号 F04F9/00 主分类号 F04F9/00
代理机构 代理人
主权项
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