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发明名称 HEATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01300517(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880131286 申请日期 1988.05.27
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 FUSE NOBORU
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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