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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0228966(A) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 JP19880178115 申请日期 1988.07.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NAKANE HIROSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/52;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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