发明名称 LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0240934(A) 申请公布日期 1990.02.09
申请号 JP19880191600 申请日期 1988.07.30
申请人 TOSHIBA CORP;TOSBAC COMPUTER SYST CO LTD 发明人 KITAMURA TETSUYA;KANEKO SHINTARO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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