发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0243724(A) 申请公布日期 1990.02.14
申请号 JP19880193462 申请日期 1988.08.04
申请人 NIPPON INTER ELECTRONICS CORP 发明人 MURAYAMA YOSHIAKI;FURUYA SAKUJI;MUKOHARA MASAHITO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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