发明名称 FLAW DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0293313(A) 申请公布日期 1990.04.04
申请号 JP19880248578 申请日期 1988.09.29
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 WATANABE KAZUO
分类号 G01B11/30;G01M11/00;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;H04N7/18 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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