发明名称 INSPECTION METHOD UTILIZING TWO-PHASE SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPY AND SYSTEM THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02108957(A) 申请公布日期 1990.04.20
申请号 JP19890231788 申请日期 1989.09.08
申请人 SONOSUKAN INC 发明人 FURANKU JIEE SHICHIYANSUKII
分类号 G01N29/00;G01H3/12;G01N29/06;G01N29/44 主分类号 G01N29/00
代理机构 代理人
主权项
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