发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02126678(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 JP19880280604 申请日期 1988.11.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAGAWA TSUTOMU
分类号 H01L29/74;H01L29/80 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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