发明名称 AL THIN FILM FOR MULTILAYER INTERCONNECTIONS
摘要
申请公布号 JPH02137329(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880292044 申请日期 1988.11.18
申请人 RICOH CO LTD 发明人 OKAMOTO HIROYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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