| 发明名称 |
A PRODUCTION METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB9007215(D0) |
申请公布日期 |
1990.05.30 |
| 申请号 |
GB19900007215 |
申请日期 |
1990.03.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
