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发明名称 LEAK CHECK METHOD FOR FURNACE TUBE
摘要
申请公布号 JPH02196941(A) 申请公布日期 1990.08.03
申请号 JP19890151593 申请日期 1989.06.13
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SATO KENJI
分类号 G01M3/32;G01M3/04;G01M3/20;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 G01M3/32
代理机构 代理人
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