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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PLANAREN HALBLEITERANORDNUNG MIT GRAEBEN.
摘要
申请公布号 DE3672570(D1) 申请公布日期 1990.08.16
申请号 DE19863672570 申请日期 1986.10.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DOUGHERTY, JAMES JOHN, ESSEX JCT. VT. 05452, US
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/312 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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