发明名称 MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICES
摘要
申请公布号 EP0343962(A3) 申请公布日期 1990.09.19
申请号 EP19890305258 申请日期 1989.05.24
申请人 DE BEERS INDUSTRIAL DIAMOND DIVISION (PROPRIETARY) LIMITED 发明人 JONES, BARBARA LYNN
分类号 H01L21/027;H01L21/04;H01L29/16;(IPC1-7):H01L21/00;H01L29/78 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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