发明名称 NITRIDATION OF SILICON
摘要
申请公布号 JPH02270325(A) 申请公布日期 1990.11.05
申请号 JP19890091074 申请日期 1989.04.11
申请人 UTAKA MASATOSHI 发明人 YAMAMOTO SHIGEICHI;UTAKA MASATOSHI
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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