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发明名称
INSPECTING METHOD UTILIZING GRADATION PATTERN MATCHING
摘要
申请公布号
JPH0310107(A)
申请公布日期
1991.01.17
申请号
JP19890145710
申请日期
1989.06.08
申请人
MURATA MFG CO LTD
发明人
IKEDA MASAO
分类号
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G06T7/00
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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