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发明名称
A SEAL ASSEMBLY FOR A WAFER GRINDING MACHINE
摘要
申请公布号
EP0395255(A3)
申请公布日期
1991.02.20
申请号
EP19900303897
申请日期
1990.04.11
申请人
SILICON TECHNOLOGY CORPORATION
发明人
STEERE, ROBERT E.,III;LEONARD, THOMAS E.
分类号
B24B7/22;B24B9/00;B24B9/06;B24B55/00;B24B55/06;(IPC1-7):B24B9/06
主分类号
B24B7/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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