发明名称 PREPARATION OF OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0365501(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890198647 申请日期 1989.07.31
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HARADA KEIZO;ITOZAKI HIDEO
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B3/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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