发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0399438(A) 申请公布日期 1991.04.24
申请号 JP19890236101 申请日期 1989.09.12
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 AIDA MASANORI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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