| 发明名称 |
Crystal pulling apparatus and crystal pulling method using the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5021225(A) |
申请公布日期 |
1991.06.04 |
| 申请号 |
US19890312847 |
申请日期 |
1989.02.21 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
YAMASHITA, YOUJI;KOJIMA, MASAKATU |
| 分类号 |
C30B15/10;C30B15/12;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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