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发明名称
METHOD FOR APPLYING PHOTORESIST
摘要
申请公布号
JPH03157658(A)
申请公布日期
1991.07.05
申请号
JP19890298427
申请日期
1989.11.16
申请人
NIPPON COLUMBIA CO LTD
发明人
ARAKAWA YOSHIHIDE
分类号
G03F7/16;G03F7/004;G11B7/26;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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