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发明名称 PHOTOLEITFAEHIGES MATERIAL
摘要
申请公布号 DE4101110(A1) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DE19914101110 申请日期 1991.01.16
申请人 RICOH CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;RICOH RESEARCH INSTITUTE OF GENERAL ELECTRONICS CO., LTD., NATORI, MIYAGI, JP 发明人 HAGA, KOICHI, MIYAGI, JP;KUMANO, MASAFUMI, SENDAI, MIYAGI, JP
分类号 C23C16/24;C23C16/30;G03G5/082;H01L31/0376;H01L31/09;H01L31/113;H01L31/20 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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