| 发明名称 |
APPARATUS FOR FORMING DATA FOR CHARGED BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03175613(A) |
申请公布日期 |
1991.07.30 |
| 申请号 |
JP19890314192 |
申请日期 |
1989.12.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOYAMA KIYOMI;IKENAGA OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G06T1/20;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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