| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUBSTRATE FOR DEPOSITING SILICON CARBIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03197392(A) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
JP19890339005 |
申请日期 |
1989.12.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
DEGUCHI MASAHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;YOSHIDA TETSUHISA;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B29/36;H01L21/205;H01L21/265 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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