发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03199191(A) 申请公布日期 1991.08.30
申请号 JP19890338994 申请日期 1989.12.27
申请人 MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 KAWAKAMI HIROSHI
分类号 C30B15/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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