| 发明名称 |
INTERNAL DIFFUSION THIN FILM TYPE GETTER MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03232530(A) |
申请公布日期 |
1991.10.16 |
| 申请号 |
JP19900028438 |
申请日期 |
1990.02.09 |
| 申请人 |
NATL RES INST FOR METALS |
发明人 |
YOSHITAKE MICHIKO;YOSHIHARA KAZUHIRO |
| 分类号 |
F04B37/04;B01J3/02;B01J20/28;B01J20/30;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/22 |
主分类号 |
F04B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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