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发明名称 MANUFACTURE OF MIM CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH03253066(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900052096 申请日期 1990.03.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYASE IWAO
分类号 H01G4/33;H01G4/06;H01L21/822;H01L27/04;H01L49/02 主分类号 H01G4/33
代理机构 代理人
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