HEAT-TREATING EQUIPMENT,申请号JP19900054966-传众专利搜索

发明名称	HEAT-TREATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH03257919(A)	申请公布日期	1991.11.18
申请号	JP19900054966	申请日期	1990.03.08
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	TORII YUTAKA
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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