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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROMECHANISCHEN SENSOREN MIT UEBERLASTSICHERUNG
摘要
申请公布号 DE4016472(A1) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 DE19904016472 申请日期 1990.05.22
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART, DE 发明人 BANTIEN, FRANK, DIPL.-PHYS. DR., 7257 DITZINGEN, DE;FINDLER, GUENTHER, DIPL.-ING., 7000 STUTTGART, DE
分类号 G01L1/26;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;H01L21/306;H01L29/84 主分类号 G01L1/26
代理机构 代理人
主权项
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