| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING WITH REACTIVE GAS UTILIZED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03275594(A) |
申请公布日期 |
1991.12.06 |
| 申请号 |
JP19900075663 |
申请日期 |
1990.03.27 |
| 申请人 |
UBE IND LTD |
发明人 |
MATSUBARA KAKUEI;DAIMON HIROSHI;FUJII KAZUHIRO;ABU TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/34;H01L21/203;H01L39/24 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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