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发明名称
FORMATION OF INSULATING REGION
摘要
申请公布号
JPH03276661(A)
申请公布日期
1991.12.06
申请号
JP19900078179
申请日期
1990.03.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TERASONO SHINICHI
分类号
H01L21/76;H01L21/31
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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