发明名称 FORMATION OF INSULATING REGION
摘要
申请公布号 JPH03276661(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900078179 申请日期 1990.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TERASONO SHINICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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