发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE FOR THREE-DIMENSIONAL PACKAGING
摘要
申请公布号 JPH0410649(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900113446 申请日期 1990.04.27
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 ISHIDA SHINICHIRO
分类号 H01L27/00 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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