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发明名称 PREPROCESSING OF SILICON WAFER OXIDE FILM AND OXIDIZING SOLUTION OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH0418729(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19900122670 申请日期 1990.05.11
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 SAKURAI MARI;MORITA ETSURO;TATSUTA JIRO
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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