QUELLE ULTRAVIOLETTER STRAHLEN UND VERWENDUNG DERSELBEN IN VERFAHREN MIT PHOTOCHEMISCHER REAKTION.,申请号DE19873776170-传众专利搜索

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发明名称	QUELLE ULTRAVIOLETTER STRAHLEN UND VERWENDUNG DERSELBEN IN VERFAHREN MIT PHOTOCHEMISCHER REAKTION.
摘要
申请公布号	DE3776170(D1)	申请公布日期	1992.03.05
申请号	DE19873776170	申请日期	1987.03.24
申请人	SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP	发明人	YAMAZAKI, SHUNPEI, TOKYO 157, JP;INUJIMA, TAKASHI;URATA, KAZUO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN 243, JP;TASHIRO, MAMORU, TOKYO 157, JP;TANAMURA, YUJI, MACHIDA-SHI TOKYO 194, JP;IMATO, SHINJI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, 243, JP;ITOH, KENJI, MACHIDA-SHI TOKYO 194, JP;ODAKA, SEIICHI, HISAKATA-MACHI AKITA-KEN, 018-01, JP;HAYASHI, SHIGENORI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, 243, JP;HIROSE, NAOKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN 243, JP
分类号	H01J61/52;(IPC1-7):H01J61/52;C23C16/48	主分类号	H01J61/52
代理机构		代理人
主权项
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