发明名称 TRAEGERVORRICHTUNG FUER HALBLEITER-WAFER
摘要
申请公布号 DE4132405(A1) 申请公布日期 1992.04.02
申请号 DE19914132405 申请日期 1991.09.26
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NOBUTAKA, KIKUIRI;NORIO, UCHIDA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01L21/683 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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