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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04107873(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900225791 申请日期 1990.08.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UNO TOSHIHIKO;KAWASAKI HIDEO;YAMANISHI YUJI;TANIDA HIROSHI;SHINDO HIROYUKI;YAMAGUCHI SEIKI
分类号 H01L29/78;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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