| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING DIAMOND THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04114995(A) |
申请公布日期 |
1992.04.15 |
| 申请号 |
JP19900234285 |
申请日期 |
1990.09.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
DEGUCHI MASAHIRO;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C30B29/04;H01B13/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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