发明名称 FINE VIBRATION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH04131716(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900251692 申请日期 1990.09.25
申请人 CANON INC 发明人 KANEKO NORIO;KISHI FUMIO;KAWASAKI TAKEHIKO
分类号 G01H9/00;G01H17/00;H01L39/00 主分类号 G01H9/00
代理机构 代理人
主权项
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