发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 US5123996(A) 申请公布日期 1992.06.23
申请号 US19910646125 申请日期 1991.01.28
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 SHAHID, MUHAMMED A.
分类号 C30B11/00;C30B11/14;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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