发明名称 APPARATUS FOR ASSESSING A PARTICULAR PROPERTY IN A MEDIUM.
摘要 Afin d'évaluer une caractéristique particulière d'un milieu (13), on prévoit un détecteur (18) qui est sensible à ladite caractéristique et qui peut être activé thermiquement lorsqu'il se trouve en contact avec ledit milieu. Le détecteur (18) est monté sur la surface inférieure d'une tranche de silicium (9) dont la surface supérieure comporte un puits dans lequel se situe un élément en pont vibratoire (16). Le haut du puits est fermé de sorte que l'élément (16) se trouve dans une chambre fermée (15). De l'énergie d'excitation (12) provenant d'une source (14) alimente l'élément (16) afin de créer un mouvement vibratoire qui est contrôlé et détecté par un circuit (19). La présence de la caractéristique dans le milieu (13) provoque un changement thermique dans la tranche (9), ce qui a l'effet de modifier la fréquence de résonance du mouvement vibratoire de l'élément (16). Le changement de fréquence représente la caractéristique.
申请公布号 EP0496812(A1) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 EP19900916333 申请日期 1990.10.19
申请人 UNIVERSITY OF STRATHCLYDE 发明人 CULSHAW, BRIAN CROMDALE GRYFFE ROAD;TURNER, ANTHONY, PETER, FRANCIS EVERGREENS
分类号 G01K5/52;G01N25/48;G01N29/036;G02B26/00 主分类号 G01K5/52
代理机构 代理人
主权项
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