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发明名称 INSPECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04214652(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19900401491 申请日期 1990.12.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUI AYAKO
分类号 H01L21/02;H01L21/66;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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