VACUUM CONVEYOR MECHANISM,申请号JP19910048316-传众专利搜索

发明名称	VACUUM CONVEYOR MECHANISM
摘要
申请公布号	JPH04285168(A)	申请公布日期	1992.10.09
申请号	JP19910048316	申请日期	1991.03.13
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	INABA TETSUJI;SUNADA HIDENORI
分类号	C23C14/56;H01L21/677;H01L21/68	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
主权项
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